粗拋光墊 貝達先進材料提供的SC、SU及SH系列產品,是專為粗、中拋用途所開發。因不同之基材與樹酯組合,而產生不同特性的粗拋光墊。本產品可應用於各種III-V化合物半導體材料、IC製造、金屬、石英、玻璃、光罩與硬碟等材料之拋光。
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